TKF RG2 系列纯度调压阀

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超纯洁净阀门

管接件

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商品详情

■设计用于气体公司、设备制造商和半导体制造商的工艺气体柜中的点式使用介质流量。
■精确控制工艺工具处或附近的气体压力，在 300PSIG 入口处的流速达 600 SLPM。
■所有内表面都经过10Ra 或5Ra 处理，以确保小的颗粒产生和残留。
金属-金属隔膜密封增强了防漏完整性。
■组装、焊接、测试和终清洁的每一步都在洁净室中完成。