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TKF SS-A 系列 不锈钢气体过滤器
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商品详情
纯度直列式气体过滤器,均为 316L 不锈钢结构,温度和动态压力应用,尺寸紧凑、端接可变
产品特点
■15 至 300 SLPM 的宽流速范围
■能兼容大多数纯度半导体工艺气体
■3 纳米颗粒过滤能力可以以小的压降保持流动效率
■5Ra 电抛光表面可防止内部污染
■去离子水清洗后用热氮气烘烤,以满足半导体工艺标准
■100 等级制造、清洁和包装环境
■100% 通过氦气泄漏测试
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