● 多功能 ● 精确度 ● 简单易操作 ● 效率 ● 自我检查
随着半导体器件快速而一体化的发展,越来越多的细节需要考虑其中。同时新的材料也被引入300mm晶圆制程以提升产品性能。在这样...
HORIBA STEC使用户自己在现场改变气体种类或满量程流量成为可能。Z500设置软件让随需改规格成为可能。而且更为便利的是,这...
消除与流量共管的干扰 ● 拥有流体蒸发系统 ● 通过合理的布局使得气体显示面板简单明了
质量流量控制器
S600 S48 300 HMT质量流量控制器采用HORIBA STEC(日本)技术,在HORIBA Precision Instruments(中国)生产制造。
● 真空镀膜 ● 表面处理 ● 配气系统
S48模拟产品在设备的不同位置及角度安装时,对气体流量变化几乎没有影响,打破了传统MFC的安装条件限制,给用户带来便利。
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